在半導(dǎo)體芯片中，PM（Preventive Maintenance）是設(shè)備維護(hù)管理的重要組成部分，尤其是在半導(dǎo)體外延爐等主要設(shè)備方面具有主體作用：
1.界定與目地
PM（Preventive Maintenance）是指通過定期維護(hù)日常保養(yǎng)機(jī)器設(shè)備，防止?jié)撛诠收匣蚬δ苁?，保證生產(chǎn)流水線高效運(yùn)行。其主要目標(biāo)是增加設(shè)備使用年限、降低突發(fā)故障、提高生產(chǎn)效率。
2.在半導(dǎo)體外延爐中的運(yùn)用
定期維護(hù)：對加熱裝置、機(jī)械泵、氣體管路等核心部件開展規(guī)律性檢驗(yàn)，保證環(huán)境溫度精度和氣體純凈度。
清理和維護(hù)：清除爐腔內(nèi)腔堆積物、拆換密封環(huán)等易耗配件，防止污染物質(zhì)危害外延層品質(zhì)。
主要參數(shù)校正：按時校正溫度感應(yīng)器、氣壓表等儀表盤，保證工藝指標(biāo)準(zhǔn)確性。
3.實(shí)施周期和標(biāo)準(zhǔn)
依據(jù)機(jī)器設(shè)備使用次數(shù)和生產(chǎn)商提議，PM一般分為日常安全巡檢、一季度維護(hù)保養(yǎng)和年度維修三個等級。比如，外延性爐的PM方案將包括每月的常用清洗和每年一次的構(gòu)件拆換。
大力實(shí)施PM，半導(dǎo)體企業(yè)能明顯減少因機(jī)械故障所導(dǎo)致的生產(chǎn)制造終斷風(fēng)險性，確保外延性加工工藝的穩(wěn)定性和商品合格率。