半導體外延爐的PM（預防性維修）是保證系統長期性高效運行的重要環節，關鍵有如下維護保養具體內容：
半導體外延爐的PM分成日常維護保養、維護保養和深度維護保養三個等級，依據機器設備使用次數和生產商強烈推薦周期時間實行。
清理：清除設施表層塵土，擦洗控制面板和機械部件，避免油漬或顆粒物殘余。
主要參數查驗：確定環境溫度、氣體壓力等關鍵參數合乎工藝標準。
維護保養
深層清潔：使用專用清潔液清理室，清除堆積物并注意內腔刮痕。
構件查驗：校正流量計、液位傳感器，清理過濾裝置，保證汽體系統軟件密閉性。
深層維護保養
構件拆換：拆換室部件、空氣壓縮機油等關鍵部件。
功能測試：運行測試片認證離子注入速率和均勻度，保證表層質量合格。