半導(dǎo)體外延爐的保溫一體化主要是通過石英制品和暖場(chǎng)原材料完成，保證高溫環(huán)境下發(fā)熱量高效率遍布同時(shí)減少能量損耗。
1.關(guān)鍵隔熱保溫部件
外延性爐主要是由石英產(chǎn)品組成，包含石英桶、隔板及液壓桿，這些部件根據(jù)反射和阻擋紫外線攜帶發(fā)熱量才能維持半導(dǎo)體外延爐內(nèi)溫度均勻性。比如，石英隔板里的磨紗層可將大部分紫外線反射回石英罩，降低熱量散失，進(jìn)而提升傳熱效率。
2.保溫隔熱材料挑選
暖場(chǎng)隔熱保溫多采用粘膠基長(zhǎng)纖高純石墨鍍層硬氈，其導(dǎo)熱系數(shù)低（1000℃時(shí)約0.2W/(m·k)）、線膨脹系數(shù)小（1500℃下約2.8×10??/℃），可以有效阻隔傳熱過程并保持恒溫平穩(wěn)。該材料還具備高電阻（面方位6.9×10?3Ω·m），可防止點(diǎn)火風(fēng)險(xiǎn)性。
3.工藝改善設(shè)計(jì)方案
一部分設(shè)計(jì)方案根據(jù)紫外光加熱裝置提高保溫性能，比如運(yùn)用磨紗層使紫外光在石英罩內(nèi)發(fā)生漫反射光，將能量集中在單晶硅片加溫地區(qū)，降低對(duì)外界構(gòu)造的熱傳遞。